壓力傳感器是工業(yè)實踐中常用的傳感器。傳統(tǒng)的壓力傳感器主要由機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)備和彈性元件的變形表示壓力。然而,這種結(jié)構(gòu)體積大,質(zhì)量重,不能提供電氣輸出,因此常用于工業(yè)領(lǐng)域。
伴隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,半導(dǎo)體壓力傳感器也應(yīng)運而生,其特點是體積小、重量輕、精度高、溫度特性好。特別是隨著傳感器技術(shù)的發(fā)展,半導(dǎo)體傳感器正朝著微型化方向發(fā)展,功耗小,可靠性高。
壓力傳感器種類繁多,根據(jù)不同的分類標(biāo)準(zhǔn)可分為不同的類型。以下是兩種常見的壓力傳感器:
擴(kuò)散硅壓力傳感器的工作原理是基于壓力阻力效應(yīng)。利用壓力阻力效應(yīng)原理,被測介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的薄膜(不銹鋼或陶瓷),使薄膜產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移,從而改變傳感器的電阻值。電子電路用于檢測這種變化,并轉(zhuǎn)換輸出與這種壓力相對應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)測量信號。
擴(kuò)散硅壓力傳感器體積小、重量輕、性能穩(wěn)定。適用于制造小范圍變送器。主要用于工藝控制系統(tǒng)、壓力校準(zhǔn)儀器、液壓系統(tǒng)、生物醫(yī)藥儀器、液壓系統(tǒng)及閥門、液位測量、制冷設(shè)備、HVAC控制等行業(yè)。
電容式壓力傳感器是一種壓力傳感器,它利用電容敏感元件將被測壓力轉(zhuǎn)換為與之有一定關(guān)系的電力輸出。它通常使用圓形金屬薄膜或鍍金屬薄膜作為電容器的電極。當(dāng)薄膜在壓力下變形時,薄膜與固定電極之間形成的電容會發(fā)生變化,與電壓有一定關(guān)系的電信號可以通過測量電路輸出。
電容式壓力傳感器具有輸入能量低、動態(tài)響應(yīng)高、自然效應(yīng)小、環(huán)境適應(yīng)性好等特點。其中,陶瓷電容壓力傳感器因其耐腐蝕、耐沖擊、無滯后、介質(zhì)兼容性強(qiáng)等優(yōu)點,可廣泛應(yīng)用于水、氣、液等多種介質(zhì)的壓力檢測。
壓力是生產(chǎn)和生活中的重要參數(shù)之一。壓力傳感器還廣泛應(yīng)用于水利、水電、鐵路交通、智能建筑、生產(chǎn)自動控制、石化、油井、電力、船舶、機(jī)床、管道等多個行業(yè)的各種工業(yè)自動控制環(huán)境。