影響傳感器精度的主要因素有哪些?其實影響測力傳感器穩(wěn)定性的因素有很多,綜合一下過往項目的技術(shù)經(jīng)驗總結(jié)如下:
測力傳感器的結(jié)構(gòu)。
測量傳感器彈性元件、外殼、膜、上壓頭、下壓墊的設(shè)計必須保證加載后不會在結(jié)構(gòu)上產(chǎn)生性能波動,或者性能波動很小。因此,在測量傳感器的設(shè)計中,應(yīng)變區(qū)域的應(yīng)力應(yīng)盡可能單獨均勻;補丁部分應(yīng)為平面;結(jié)構(gòu)上,確保一定的抗偏心載荷和橫向載荷能力;安裝力遠(yuǎn)離應(yīng)變區(qū)域。負(fù)載支撐點的位移應(yīng)避免在測量過程中。雖然測力傳感器是一種裝配和制造產(chǎn)品,但為了保證最佳的技術(shù)性能和長期穩(wěn)定性,應(yīng)盡可能設(shè)計成整體結(jié)構(gòu)。
金屬材料的彈性元件。
彈性元件的金屬材料對測力傳感器的綜合性能和長期穩(wěn)定性起著關(guān)鍵作用。選用強度極限和彈性極限高、彈性模量時間好、溫度穩(wěn)定性好、彈性滯后小、機(jī)械加工和熱處理產(chǎn)生的殘余應(yīng)力小的材料。有數(shù)據(jù)表明,只要材料淬火后塑性好,機(jī)械加工和熱處理后的殘余應(yīng)力就很小。在測量傳感器的使用壽命內(nèi),還應(yīng)特別注意彈性模量的穩(wěn)定性。
機(jī)械加工及熱處理工藝。
在加工過程中,由于表面變形切割不均勻,殘余應(yīng)力越大,磨削產(chǎn)生的殘余應(yīng)力最大。因此,應(yīng)制定合理的加工工藝,并規(guī)定適當(dāng)?shù)那懈盍?。在熱處理過程中,由于冷卻溫度不均勻和金屬材料的變化,彈性元件在芯和表面產(chǎn)生不同方向的殘余應(yīng)力?;鼗疬^程中必須產(chǎn)生相反方向的應(yīng)力,以抵消殘余應(yīng)力,減少殘余應(yīng)力的影響。
電阻應(yīng)變計應(yīng)具有最佳性能,要求靈敏系數(shù)穩(wěn)定性好,熱輸出小,機(jī)械滯后和蠕變小,應(yīng)變量1000×10小時,疲勞壽命108,電阻偏差小,批次質(zhì)量均勻性好。應(yīng)變粘合劑應(yīng)具有較高的粘結(jié)強度和較高的剪切強度;彈性模量大且穩(wěn)定;良好的電氣絕緣性能;與彈性元件相同或相似的熱膨脹系數(shù);蠕變和滯后收縮等。隨著粘接層厚度的增加,粘接電阻應(yīng)變計必須嚴(yán)格控制粘接層厚度。
這是因為薄膠層需要更大的應(yīng)力變形,不易流動和蠕變,界面內(nèi)應(yīng)力小,氣泡和缺陷的可能性相對較小,應(yīng)變傳輸性能好,只要保護(hù)密封能達(dá)到更高的穩(wěn)定性水平。
制造工藝。
應(yīng)變力測量傳感器的工作原理和結(jié)構(gòu)決定了生產(chǎn)過程中的一些工藝必須手動操作,人為因素對測量傳感器的質(zhì)量有很大的影響。因此,必須制定科學(xué)、合理、可重復(fù)的制造過程,增加電子計算機(jī)控制的自動化或半自動化過程,盡量減少人為因素對產(chǎn)品質(zhì)量的影響。
補償和調(diào)整電路。
應(yīng)變力測量傳感器屬于裝配制造,芯片橋后形成產(chǎn)品,由于內(nèi)部缺陷和外部環(huán)境條件,部分性能指標(biāo)不能滿足設(shè)計要求,必須進(jìn)行各種電路補償和調(diào)整,提高測量傳感器本身的穩(wěn)定性和外部環(huán)境條件的穩(wěn)定性。完善精細(xì)的電路補償技術(shù)是提高傳感器穩(wěn)定性的重要環(huán)節(jié)。
保護(hù)和密封。
保護(hù)和密封是測力傳感器制造過程中的關(guān)鍵過程,是耐客觀環(huán)境和感應(yīng)環(huán)境影響的測力傳感器穩(wěn)定可靠工作的基本保證。如果保護(hù)密封不良,彈性元件上的電阻應(yīng)變計和應(yīng)變粘合劑層會吸收空氣中的水,降低粘合強度和剛度,導(dǎo)致零漂移和輸出變化不規(guī)則,直到傳感器失效。
因此,有效的保護(hù)密封是測力傳感器長期穩(wěn)定工作的根本保證,否則會浪費各種工藝成果。
穩(wěn)定性處理(老化試驗)
提高測力傳感器穩(wěn)定性最重要的方法是采取各種技術(shù)措施和工藝手段,模擬使用條件,進(jìn)行有效的人工成熟度測試,盡可能釋放殘余應(yīng)力,減少其性能波動。